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硅正交復合梁結構微機械陀螺研究

批準號69876009 學科分類半導體傳感器 ( F040401 )
項目負責人鮑敏杭 負責人職稱教授 依托單位復旦大學
資助金額13.00
萬元
項目類別面上項目 研究期限1999 年 01 月 01 日 至
2001 年 12 月 31 日
中文主題詞微機械.陀螺.
英文主題詞Micromachine.Gyroscope.

摘要

中文摘要 硅微機械振動陀螺是當前微電子機械技術的研究重點,它的設計與微機械動力學的研究密切相關。本項目提出一種硅正交復合梁結構微機械振動陀螺。該結構由單晶硅用特殊的無掩模腐蝕微機械加工技術制成。由于巧妙地利用了質量塊橫向振動的高Q值和壓阻讀出的方法,苊飭訟鐘形⒒低勇菪枰嬋輾庾昂托〉縟荻臉齙睦選S忻饗緣撓旁叫浴
英文摘要
結題摘要

成果

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