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      國家自然科學基金項目查詢

      硅正交復合梁結構微機械陀螺研究

      批準號69876009 學科分類半導體傳感器 ( F040401 )
      項目負責人鮑敏杭 負責人職稱教授 依托單位復旦大學
      資助金額13.00
      萬元
      項目類別面上項目 研究期限1999 年 01 月 01 日 至
      2001 年 12 月 31 日
      中文主題詞微機械.陀螺.
      英文主題詞Micromachine.Gyroscope.

      摘要

      中文摘要 硅微機械振動陀螺是當前微電子機械技術的研究重點,它的設計與微機械動力學的研究密切相關。本項目提出一種硅正交復合梁結構微機械振動陀螺。該結構由單晶硅用特殊的無掩模腐蝕微機械加工技術制成。由于巧妙地利用了質量塊橫向振動的高Q值和壓阻讀出的方法,苊飭訟鐘形⒒低勇菪枰嬋輾庾昂托〉縟荻臉齙睦選S忻饗緣撓旁叫浴
      英文摘要
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